반도체 공정 파워모듈 (Chiller & Scrubber)


공정 안정성의 핵심,
파워모듈에서 완성됩니다.

반도체 열교환 공정(Chiller)과 배기 정화 공정(Scrubber) 환경을 고려한
전력변환 설계를 통해 안정적인 출력과 높은 신뢰성을 구현합니다.




Chiller and Scrubber
반도체 공정 파워모듈




인터웰의 파워모듈은 용량별로 세분화된 설계를 기반으로, 

고객이 요구하는 다양한 특수 기능을 유연하게 

반영할 수 있습니다.


반도체 생산 공정 중 발생할 수 있는 셧다운(Shutdown) 

상황을 파워모듈 제어를 통해 사전에 예방하고, 

공정의 안정적인 운영을 지원합니다.

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